光学定盤

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  2. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  3. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  4. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  7. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  8. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  10. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  5. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  6. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

2026年3月
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