光学定盤

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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