光学定盤

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
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