光学定盤

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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