光学定盤

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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