光学定盤

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年9月
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