光学定盤

  1. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  2. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  3. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  4. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  5. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  6. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  7. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  8. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  9. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  10. 表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW

  1. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  2. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  3. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  4. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  5. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  7. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  8. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

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