光学定盤

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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