光学定盤

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年6月
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