光学定盤

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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