光学定盤

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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