光学定盤

  1. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  2. イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…

  3. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  4. 光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…

  5. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  8. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  9. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  1. 四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー  QME200

  2. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  4. クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS

  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  9. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  10. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

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