光学定盤

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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