光学定盤

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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