光学定盤

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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