光学定盤

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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