光学定盤

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年1月
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