光学定盤

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年1月
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