光学定盤

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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