光学定盤

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  2. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  7. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  8. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  9. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

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2026年1月
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