光学定盤

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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