光学定盤

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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