光学定盤

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年6月
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