光学定盤

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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