光学定盤

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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