光学定盤

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
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