光学定盤

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年1月
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