光学定盤

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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