光学定盤

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年2月
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