光学定盤

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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