光学定盤

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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