光学定盤

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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