光学定盤

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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