光学定盤

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  2. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  3. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  4. バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…

  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  6. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  7. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  8. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  9. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  10. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  1. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  2. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  3. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  7. 真空乾燥機 アズワン AVO-310V

  8. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  9. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  10. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

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