光学定盤

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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