光学定盤

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  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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