光学定盤

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  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

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  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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