光学定盤

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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