光学定盤

  1. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  3. マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B

  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  6. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  7. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  8. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  9. 走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  1. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  2. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  3. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  7. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  8. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  9. パルスユニット アルバック A2KH-25

  10. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

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