光学定盤

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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