光学定盤

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  2. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  3. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

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  5. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

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  7. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  9. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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