光学定盤

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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