光学定盤

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  7. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

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  10. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

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  2. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  5. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  6. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  8. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  9. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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