光学定盤

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  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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