光学定盤

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
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