光学定盤

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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