光学定盤

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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