光学定盤

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  5. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  8. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  9. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

    チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

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