光学定盤

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  2. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  4. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  8. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  9. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  10. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  2. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  4. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  6. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  7. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

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