光学定盤

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年12月
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