光学定盤

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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