光学定盤

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年6月
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