光学定盤

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年1月
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