光学定盤

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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