光学定盤

  1. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  2. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  10. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  1. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  2. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  9. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

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