光学定盤

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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