光学定盤

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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