光学定盤

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  8. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年7月
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