光学定盤

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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