光学レーザー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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