元素分析

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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