保冷庫

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

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  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年10月
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