保冷庫

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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