レーザースキャンシステム

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年9月
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