レーザースキャンシステム

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年9月
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