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  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

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  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

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  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
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