株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:IDX(現:アドテックプラズマ) 型式:IMG-2503高周波電源/RFプラズマ電源/マグネトロン電源/パルス電源半導体…
マイクロ波発振器/マイクロ波電源 Microwaveメーカー:IDX(旧アドテック) 型式:IMG-2502B出力:1.5kW高周波電源 プラ…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…