ベクトルスコープ

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年2月
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