ベクトルスコープ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年2月
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