ベクトルスコープ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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