ベクトルスコープ

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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