ベクトルスコープ

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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