ベクトルスコープ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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