ベクトルスコープ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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