ベクトルスコープ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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