ベクトルスコープ

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年1月
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