ベクトルスコープ

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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