ベクトルスコープ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年1月
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