ベクトルスコープ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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