ベクトルスコープ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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