ベクトルスコープ

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年2月
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