ベクトルスコープ

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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