ベクトルスコープ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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