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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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