ベクトルスコープ

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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