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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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