ベクトルスコープ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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