ベクトルスコープ

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年1月
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