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マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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インテリジェントX線測定器 東洋メテック RaySafe …
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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