ベクトルスコープ

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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