ベクトルスコープ
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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