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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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