ベクトルスコープ

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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