ベクトルスコープ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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