ベクトルスコープ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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