ベクトルスコープ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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