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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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