ベクトルスコープ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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