ベクトルスコープ

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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