ベクトルスコープ

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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