ベクトルスコープ

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年2月
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