ベクトルスコープ

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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