ベクトルスコープ

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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