ベクトルスコープ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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