ベクトルスコープ

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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