プローバー
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イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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