プラズマコーター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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