プラズマコーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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