プラズマクリーナー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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