プラズマクリーナー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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