プラズマクリーナー

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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