プラズマクリーナー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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