プラズマクリーナー

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年2月
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