プラズマクリーナー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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