プラズマクリーナー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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