プラズマクリーナー

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  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

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  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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