プラズマクリーナー

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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