プラズマクリーナー

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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