プラズマクリーナー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年1月
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