プラズマクリーナー

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  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  5. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  9. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  10. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  3. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  4. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  8. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  10. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

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