プラズマクリーナー

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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