プラズマクリーナー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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