プラズマクリーナー

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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