プラズマクリーナー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年12月
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