プラズマクリーナー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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