プラズマクリーナー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年1月
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