プラズマクリーナー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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