プラズマクリーナー

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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