プラズマクリーナー

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  7. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  8. ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…

  9. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  10. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  3. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  4. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  5. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  6. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  8. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  9. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

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