プラズマクリーナー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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