プラズマクリーナー

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年11月
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