プラズマクリーナー

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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