プラズマクリーナー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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