ファナック

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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