ファナック

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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