ファナック

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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