ファナック

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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