ファナック

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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