ファナック

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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