ファナック

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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