ファナック

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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