ファナック

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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