ファナック

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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