ファナック

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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