ファナック

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年6月
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