ファナック

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
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