ファナック

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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