ファナック

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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