ファナック

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
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