ファナック

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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