ファナック
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
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ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
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デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）<…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
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エアーコンプレッサー 日立製 CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
