ファナック

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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