ファナック

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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