ファナック

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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