ファナック

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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