ファナック

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年6月
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