ファナック

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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