ファナック

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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