ファナック

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  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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