ファナック

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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