ファナック

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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