ファナック

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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