ピラニー真空計

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年10月
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