ピエゾ効果

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  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年10月
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