バンプボンダー

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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