ナガノサイエンス

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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