ナガノサイエンス

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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