ナガノサイエンス

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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