ナガノサイエンス

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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