ナガノサイエンス

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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