ナガノサイエンス

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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