ナガノサイエンス

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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