ナガノサイエンス

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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