ナガノサイエンス

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  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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