ナガノサイエンス

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
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