ナガノサイエンス

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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