ナガノサイエンス
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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