ナガノサイエンス

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年6月
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