ナガノサイエンス

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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