ナガノサイエンス

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年1月
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