ナガノサイエンス

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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