デジタル温湿度計・露天計
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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