デジタル温湿度計・露天計

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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