ディープフリーザー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年5月
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