ディープフリーザー

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  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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