ディープフリーザー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年2月
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