ディープフリーザー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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