ディープフリーザー

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  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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