ディープフリーザー

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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