ディープフリーザー

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  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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