ディープフリーザー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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