ディープフリーザー

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  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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