ディープフリーザー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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