ディープフリーザー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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