ディープフリーザー

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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