ディープフリーザー

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  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

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  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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