ディープフリーザー

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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