ディープフリーザー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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