ディープフリーザー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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