ディープフリーザー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年6月
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