セラミック電気管状炉

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年10月
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