ウェーブフォームモニター

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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