ウェーブフォームモニター

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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