ウェーブフォームモニター

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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