ウェーブフォームモニター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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