ウェーブフォームモニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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