ウェーブフォームモニター

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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