ウェーブフォームモニター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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