ウェーブフォームモニター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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