ウェーブフォームモニター
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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