ウェーブフォームモニター

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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