ウェーブフォームモニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年1月
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