ウェーブフォームモニター

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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