ウェーブフォームモニター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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