ウェーブフォームモニター

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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