ウェーブフォームモニター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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