ウェーブフォームモニター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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