ウェーブフォームモニター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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