ウェーブフォームモニター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. RF電源　RFPP　RF20S
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年6月
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