ウェーブフォームモニター

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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