ウェーブフォームモニター

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年6月
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