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  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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