ウェーブフォームモニター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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