ウェーブフォームモニター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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