ウェーブフォームモニター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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