ウェーブフォームモニター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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