ウェーブフォームモニター

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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