ウェーブフォームモニター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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