ウェーブフォームモニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年12月
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