ウェーブフォームモニター

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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