ウェーブフォームモニター

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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