ウェーブフォームモニター

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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