ウェーブフォームモニター

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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