ウェーブフォームモニター

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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