ウェーブフォームモニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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