ウェーブフォームモニター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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