ウェーブフォームモニター

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  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

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  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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