ウェーブフォームモニター

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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