ウェーブフォームモニター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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