ウェーブフォームモニター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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