ウェーブフォームモニター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年11月
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