ウェーブフォームモニター

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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