ウェーブフォームモニター

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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