ウェーブフォームモニター

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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