ウェーブフォームモニター

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年6月
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