ウェーブフォームモニター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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