ウェーブフォームモニター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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