ウェーブフォームモニター

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  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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