ウェーブフォームモニター

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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