ウェーブフォームモニター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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