ウェーブフォームモニター

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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