ウェーブフォームモニター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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