ウェーブフォームモニター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年1月
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