ウェーブフォームモニター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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