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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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