ウェーブフォームモニター

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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