ウェーブフォームモニター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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