ウェーブフォームモニター

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  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

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  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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