ウェーブフォームモニター

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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