ウェーブフォームモニター

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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