ウェーブフォームモニター

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年5月
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