ウェーブフォームモニター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年5月
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