ウェーブフォームモニター

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2025年12月
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