ウェーブフォームモニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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