ウェーブフォームモニター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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