ウェーブフォームモニター

  1. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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