ウェーブフォームモニター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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