ウェーブフォームモニター

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年2月
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