ウェーブフォームモニター

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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