ウェーブフォームモニター

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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