ウェーブフォームモニター

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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