ウェーブフォームモニター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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