ウェーブフォームモニター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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