ウェーブフォームモニター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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