ウェーブフォームモニター

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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