ウェーブフォームモニター

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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