ウェーブフォームモニター

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  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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