ウェーブフォームモニター

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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