ウェーブフォームモニター

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  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

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  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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