ウェーブフォームモニター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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