ウェーブフォームモニター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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