ウェーブフォームモニター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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