ウェーブフォームモニター

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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