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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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