ウェーブフォームモニター

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
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