ウェーブフォームモニター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年5月
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