イオン

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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