イオン

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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