イオン

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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