イオン

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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