イオン

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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