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  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

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  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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