イオン

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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