イオン

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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