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  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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