イオン

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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