イオン

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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