イオン

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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