イオン

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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