イオン

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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