イオン

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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