イオン

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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