イオン

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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