イオン

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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