イオン

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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