イオン

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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