イオン

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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