イオン

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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