イオン

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
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