イオン

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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