イオン

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  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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