イオン

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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