イオン

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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