イオン

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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