イオン

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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