イオン

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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