イオン

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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