イオン

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  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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