イオン

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  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
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