イオン

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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