イオン

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
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