イオン

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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