イオン

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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