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  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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