イオン

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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