アニール炉

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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