アニール炉

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年6月
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