アニール炉

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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