アニール炉

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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