アニール炉

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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