アニール炉

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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