アニール炉

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年5月
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