アニール炉

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年5月
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