アニール炉

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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