アニール炉

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年5月
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