アニール炉

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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