アニール炉

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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