アニール炉

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年1月
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