アニール炉

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
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