アニール炉

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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