アニール炉

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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