アニール炉

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  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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