アニール炉

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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