アニール炉

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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