アニール炉

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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