アニール炉

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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