アニール炉

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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