アニール炉

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
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