アニール炉

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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