アニール炉

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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