アニール炉

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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