アニール炉

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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