アニール炉

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  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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