アニール炉

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

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  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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