アニール炉

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年7月
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