アニール炉

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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