アニール炉

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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