アニール炉

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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