アニール炉

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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