アニール炉

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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