アニール炉

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年2月
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