アニール炉

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031