アニール炉

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年1月
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