アニール炉

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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