アニール炉

  1. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  2. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  4. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…

  6. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  7. レーザー装置-YAGレーザー Spectra Physics Millen…

  8. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  9. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  1. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  2. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW

  3. 複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…

  4. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  7. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  8. 遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS

  9. ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…

  10. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

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