アニール炉

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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