アニール炉

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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