アニール炉

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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