アニール炉

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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