アニール炉

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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