アニール炉

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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