アニール炉

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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