アニール炉

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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