アニール炉

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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