アニール炉

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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