アニール炉

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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