アニール炉

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  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

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  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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