アニール炉

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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