アニール炉

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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