アニール炉

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  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

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  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

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  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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