アニール炉

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  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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