アニール炉

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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