アニール炉

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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