アニール炉

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年5月
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