アニール炉

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  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  2. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  7. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  8. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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