アニール炉

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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