アニール炉

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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