アニール炉

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728