アニール炉

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年1月
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