アニール炉

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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