アニール炉

  1. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E

  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  4. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  5. バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…

  6. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  7. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  8. スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…

  9. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  1. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  3. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  4. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  5. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  6. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  9. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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