アニール炉

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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