アニール炉

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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