アニール炉

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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