アニール炉

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年6月
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