アニール炉

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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