アニール炉

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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