アニール炉

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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