アニール炉

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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