アニール炉

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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