アニール炉

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031