アニール炉

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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