アニール炉

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
2026年6月
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