アニール炉

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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