アニール炉

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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