アニール炉

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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