アニール炉

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  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
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    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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