アニール炉

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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