アニール炉

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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