アニール炉

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  5. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  6. 真空オーブン ヤマト科学 ADP200

  7. スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH

  8. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  9. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  10. ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…

  1. チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A

  2. 走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …

  3. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  5. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  6. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  7. 液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST

  8. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  9. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  10. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

2026年5月
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