アニール炉

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031