アニール炉

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年11月
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