アニール炉

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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