アニール炉

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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