アニール炉

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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