アニール炉

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930