アニール炉

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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