アニール炉

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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