アニール炉

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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