アニール炉

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930