アニール炉

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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