アニール炉

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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