アニール炉

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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