アニール炉

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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