アニール炉

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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