アニール炉

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年11月
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