アニール炉

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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