アニール炉

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温槽　エスペック　PH-402
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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