アニール炉

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. RF電源　RFPP　RF10S
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
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