アニール炉

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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