アニール炉

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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