アニール炉

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  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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