アニール炉

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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