アニール炉

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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