アニール炉

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年11月
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