アニール炉

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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