アニール炉

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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