アニール炉

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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