アニール炉

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年6月
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