アニール炉

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  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

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  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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