アニール炉

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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