アニール炉

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年2月
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