アニール炉

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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