アニール炉

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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