アニール炉

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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