アニール炉

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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