アニール炉

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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