アニール炉

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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