アニール炉

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年6月
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