アニール炉

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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