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2025年 12月

1. 

   イオンクリーナー　日本電子製（JEOL）型式：JIC-410

   • イオンクリーナー
   • 半導体製造装置
2. 

   スパッタ装置 – オートファインコーター　日本電子製（JOEL）JFC-1600

   • ファインコーター
   • 半導体製造装置
3. 

   プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

   • スパッタ装置
   • 半導体製造装置
4. 

   イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

   • 走査型電子顕微鏡
   • 半導体製造装置
5. 

   クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701-AT

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   • 真空装置