etching

  1. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製
    型式：NCP-400 （M210108A04）

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