株式会社未来産業技術研究所
メーカー:リオン 型式:
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050