真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000／LK-H050
