株式会社未来産業技術研究所
メーカー:菊水電子工業 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…