株式会社未来産業技術研究所
メーカー:菊水電子工業 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A