電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
