反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
