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真空蒸着装置
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スクロールポンプ アルバック製<br>型式:DIS-500 (M200414A05)
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ロータリーポンプ アルバック製<br>型式:D-950DK (M210108A26)
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DC電源(直流電源)菊水電子製<br>型式:PAD70-15L (M210303A01)
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FIB装置(集束イオンビーム装置)SII製<br>型式:SMI9200IW (M2001…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-400 (M210108A0…
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防振台 明立精機製<br>型式:ADZ-0608/UP (M201204A06)
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B (M200702A01)
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振動計(Vibration Meter)Castle Group<br>型式:GA2002
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溶存酸素計(BOD/OUR/SOUR Meter)HANNA 製<br>Instruments 型式:…
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ロータリーエバポレーター<br>EYELA製(東京理化機械)型式:N-1200B
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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クリーンルーム用掃除機 日立製<br>型式:CV-103E
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スクロールポンプ エドワーズ製(Edwards)<br>型式:DS35i
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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電力増幅器(Power Amplifier)横河電機製<br>型式:705810 (M2011…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…