真空蒸着装置
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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スピンドライヤー コクサン製(国産遠心機) H-840…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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