真空蒸着装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年8月
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