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ピーリングテスター(剥離強度試験器)<br>日本ガータ製 型式:NPT…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M201126A14)
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303A05)
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真空蒸着装置・日本電子(JEOL)・JEE-450D<br>(M201126A02)
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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オートファインコーター 日本電子製(JOEL)<br>型式:JFC-1600
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プラズマCVD装置 サムコ製<br>型式:PD-220 (M210320A10)
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ターボ分子ポンプ ファイファー製(PFEIFFER)<br>型式:TMU261
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)