スパッタ装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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