スパッタ装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728