スパッタ装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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