スパッタ装置

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年4月
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