スパッタ装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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