スパッタ装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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