スパッタ装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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