スクロールポンプ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
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