株式会社未来産業技術研究所
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
