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  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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