イオンスパッタ装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年10月
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