イオンスパッタ装置

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年7月
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