イオンコーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031