イオンコーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年11月
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