イオンコーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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