イオンコーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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