イオンコーター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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