イオンコーター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
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