イオンコーター

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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