イオンコーター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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