イオンコーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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