イオンコーター

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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