イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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