イオンコーター

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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