イオンコーター

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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