イオンコーター

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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