イオンコーター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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