イオンコーター

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  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

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  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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