イオンコーター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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