イオンコーター

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  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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