イオンコーター

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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