イオンコーター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年6月
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