イオンコーター
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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