イオンコーター

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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