イオンコーター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年5月
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