イオンコーター

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930