イオンコーター

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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