イオンコーター

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  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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