イオンコーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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