イオンコーター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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