イオンコーター

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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