イオンコーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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