イオンコーター

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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