イオンコーター
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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