イオンコーター

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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