イオンコーター
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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パルスユニット アルバック A2KH-25
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