イオンコーター

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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