イオンコーター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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