イオンコーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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