イオンコーター

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年5月
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