イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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