イオンコーター

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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