イオンコーター

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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