イオンコーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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