イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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