イオンコーター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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