イオンコーター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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