イオンコーター
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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