イオンコーター

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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