イオンコーター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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