イオンコーター

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年11月
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