イオンコーター

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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