イオンコーター

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    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

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  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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