イオンコーター
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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