イオンコーター

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  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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