イオンコーター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年6月
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