イオンコーター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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