イオンコーター

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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