イオンコーター

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  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

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  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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