イオンコーター
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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