イオンコーター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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