イオンコーター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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