イオンコーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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