イオンコーター

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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