イオンコーター

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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