イオンコーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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