イオンコーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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