イオンコーター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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