イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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