イオンコーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年11月
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