イオンコーター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
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