イオンコーター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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