イオンコーター

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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