イオンコーター

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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