イオンコーター

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年1月
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