イオンコーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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