イオンコーター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年1月
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