イオンコーター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
2026年5月
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