イオンコーター

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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