イオンコーター
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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