イオンコーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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