イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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