イオンコーター

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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