イオンコーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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