イオンコーター

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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