イオンコーター

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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