イオンコーター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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