イオンコーター

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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