イオンコーター

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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