イオンコーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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