イオンコーター

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年11月
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