イオンコーター

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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