イオンコーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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