イオンコーター

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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