イオンコーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年2月
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