イオンコーター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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