イオンコーター
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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