イオンコーター

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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