イオンコーター

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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