イオンコーター

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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