イオンコーター

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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