イオンコーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
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