ファインコーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年8月
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