ファインコーター

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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