ファインコーター

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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