ファインコーター

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年5月
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