ファインコーター

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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