ファインコーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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