ファインコーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年6月
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