ファインコーター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年6月
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