ファインコーター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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