ファインコーター

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年5月
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