ファインコーター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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