ファインコーター

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年5月
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