ファインコーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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