ファインコーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年5月
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