ファインコーター

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年5月
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