ファインコーター

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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