ファインコーター

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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