ファインコーター

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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