ファインコーター

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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