ファインコーター

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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