ファインコーター

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  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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