株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
