株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
