株式会社未来産業技術研究所
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
