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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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