CVD装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年7月
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