露光装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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