露光装置

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  1. 恒温恒湿槽

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  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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