露光装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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