露光装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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