露光装置

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  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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