露光装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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