露光装置

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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