露光装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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