露光装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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