露光装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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