露光装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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