露光装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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