露光装置

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  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

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  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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