露光装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031