露光装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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