露光装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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