露光装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年2月
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