露光装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年12月
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