露光装置

  1. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年6月
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