露光装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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