露光装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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