露光装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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