露光装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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