露光装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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