露光装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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