露光装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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