露光装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728