露光装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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