露光装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031