露光装置

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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