露光装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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