露光装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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