露光装置

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  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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