露光装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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