露光装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930