露光装置

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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