露光装置

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  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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