露光装置

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  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

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  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

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  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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