露光装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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