露光装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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