露光装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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