露光装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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