露光装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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