露光装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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