露光装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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