露光装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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