露光装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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