露光装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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