露光装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年1月
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