露光装置

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年6月
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