露光装置

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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