露光装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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