露光装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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