露光装置

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031