露光装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年6月
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