露光装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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