露光装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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