露光装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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