露光装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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