露光装置

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  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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