露光装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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