露光装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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