露光装置

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  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年6月
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