露光装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年1月
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