露光装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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