露光装置

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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