露光装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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