露光装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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