露光装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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