露光装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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