露光装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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