露光装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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