露光装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930