露光装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
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