露光装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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