露光装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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