露光装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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