露光装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  2. 真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…

  3. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  4. スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH

  5. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  6. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  7. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  8. 恒温恒湿槽 エスペック PR-3J

  9. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…

  10. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

  1. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  2. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  5. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

  6. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  7. ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E

  8. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  9. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  10. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

2026年5月
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