露光装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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