露光装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031