露光装置

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  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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