露光装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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