露光装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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