露光装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
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