露光装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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