露光装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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