露光装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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