露光装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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