露光装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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