露光装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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