露光装置

  1. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  3. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  4. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  5. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  6. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  7. 金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  10. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  1. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  2. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  3. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  4. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  5. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  7. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  10. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

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