露光装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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