露光装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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