露光装置

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  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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