露光装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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