露光装置

反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…