露光装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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