露光装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. セラミック電気管状炉　アサヒ理化　ARF-30K / AMF-N

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. セラミック電気管状炉　アサヒ理化　ARF-30K / AMF-N

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年10月
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