露光装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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