露光装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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