露光装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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