露光装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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