露光装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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