露光装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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