露光装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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