露光装置

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  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

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  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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