露光装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728