露光装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
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