露光装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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