株式会社未来産業技術研究所
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品名:マスクアライナー(露光装置)メーカー:ミカサ 型式:MA-20露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめ…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N