露光装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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