露光装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ダイサー　ディスコ　DAD522

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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