露光装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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