露光装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930