露光装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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