露光装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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