露光装置

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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