露光装置

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  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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