露光装置

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  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

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  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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