露光装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年1月
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