露光装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031