露光装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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