露光装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年4月
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