露光装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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