露光装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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