露光装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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