露光装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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