露光装置

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  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

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  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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