露光装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年1月
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