露光装置

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  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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