露光装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930