露光装置

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年6月
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