露光装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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