露光装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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