露光装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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