露光装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年1月
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