露光装置

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  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

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  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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