露光装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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