露光装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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