露光装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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