露光装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年11月
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