露光装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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