露光装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031