露光装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
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