露光装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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