露光装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年7月
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