露光装置

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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