露光装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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