露光装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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