露光装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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