露光装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年5月
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