露光装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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