露光装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
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