露光装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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