露光装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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