露光装置

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
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