露光装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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