露光装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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