露光装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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