露光装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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