露光装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年1月
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