露光装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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