露光装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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