露光装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031