露光装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031