露光装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年5月
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