露光装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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