露光装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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