露光装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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