露光装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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