露光装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年5月
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