露光装置

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  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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