露光装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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