露光装置

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  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

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  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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