露光装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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