露光装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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