露光装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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