露光装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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