露光装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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