露光装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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