露光装置

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

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  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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