露光装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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