露光装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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