露光装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年6月
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