露光装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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