露光装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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