露光装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2025年12月
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