露光装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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