露光装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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