露光装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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