露光装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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