露光装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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