露光装置

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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