露光装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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