露光装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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