露光装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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