露光装置

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  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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