露光装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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