露光装置

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  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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