露光装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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