露光装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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