露光装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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