露光装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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