露光装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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