露光装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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