露光装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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