露光装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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