露光装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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