露光装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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