露光装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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