露光装置

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  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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