露光装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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