露光装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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