露光装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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