露光装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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