露光装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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