露光装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031