露光装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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