露光装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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