露光装置

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
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