露光装置

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  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年6月
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