低温恒温槽

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  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

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  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年7月
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