低温恒温槽

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年9月
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