低温恒温槽

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  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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