低温恒温槽

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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