低温恒温槽
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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オートグラフ(精密万能試験機)島津製作所 AGS-X, …
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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