低温恒温槽

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年7月
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