プラズマリアクター

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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