プラズマリアクター

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    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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