プラズマリアクター

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年1月
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