ディスペンサーロボット

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  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

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  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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