粒度径分布測定装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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