低温恒温槽

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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