低温恒温槽
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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