低温恒温槽

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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