低温恒温槽

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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