低温恒温槽

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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