低温恒温槽

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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