低温恒温槽

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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

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  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

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  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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