低温恒温槽

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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