低温恒温槽

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  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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