低温恒温槽

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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