低温恒温槽

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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