低温恒温槽

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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