低温恒温槽

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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