低温恒温槽

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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