低温恒温槽

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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