低温恒温槽

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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