低温恒温槽

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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