低温恒温槽

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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