低温恒温槽

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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