低温恒温槽

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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