低温恒温槽

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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