低温恒温槽

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2025年12月
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