低温恒温槽

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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