低温恒温槽

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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