低温恒温槽

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年1月
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