低温恒温槽

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年5月
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