低温恒温槽

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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