低温恒温槽

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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