低温恒温槽

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年5月
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