低温恒温槽

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  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

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  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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