低温恒温槽

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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