低温恒温槽

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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