低温恒温槽

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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