低温恒温槽

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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