低温恒温槽

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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