低温恒温槽

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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