低温恒温槽

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  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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