低温恒温槽

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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