低温恒温槽

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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