低温恒温槽

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  2. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  5. 遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS

  6. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  7. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. 超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…

  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

  7. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

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