低温恒温槽

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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