低温恒温槽

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  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

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  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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