低温恒温槽
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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