低温恒温槽

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  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

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  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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