低温恒温槽

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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