低温恒温槽

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年2月
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