低温恒温槽

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  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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