低温恒温槽

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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