低温恒温槽

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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