低温恒温槽

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  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年2月
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