低温恒温槽

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  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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