低温恒温槽

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  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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