低温恒温槽

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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