低温恒温槽

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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