低温恒温槽

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年1月
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