低温恒温槽

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  1. 恒温恒湿槽

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  2. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

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  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  7. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

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  10. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

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