低温恒温槽

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年2月
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