低温恒温槽

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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