低温恒温槽

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  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

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  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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