低温恒温槽

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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