低温恒温槽

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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