低温恒温槽

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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