低温恒温槽

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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