低温恒温槽

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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