低温恒温槽

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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