低温恒温槽

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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