低温恒温槽

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  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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