低温恒温槽

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  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年6月
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