低温恒温槽

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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