低温恒温槽

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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