低温恒温槽

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  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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