低温恒温槽

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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