低温恒温槽

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年11月
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