低温恒温槽

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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