エッチング装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年7月
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