エッチング装置

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  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年7月
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