環境試験機・乾燥機オーブン

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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