環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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