環境試験機・乾燥機オーブン

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  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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