環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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