環境試験機・乾燥機オーブン

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  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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