環境試験機・乾燥機オーブン

  1. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  6. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  7. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  1. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  2. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  4. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  6. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  7. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  9. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  10. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

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