環境試験機・乾燥機オーブン

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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