環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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