環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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