環境試験機・乾燥機オーブン

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  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  4. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  5. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  7. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  8. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  10. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

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