環境試験機・乾燥機オーブン

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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