環境試験機・乾燥機オーブン

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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