環境試験機・乾燥機オーブン

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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