環境試験機・乾燥機オーブン

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930