環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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