環境試験機・乾燥機オーブン

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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