環境試験機・乾燥機オーブン

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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