環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年2月
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