環境試験機・乾燥機オーブン

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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