環境試験機・乾燥機オーブン

  1. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  2. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  3. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  7. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  8. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  9. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  1. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  2. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  3. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  4. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  7. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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