環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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