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  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

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  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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