環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年2月
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