環境試験機・乾燥機オーブン

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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