環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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