環境試験機・乾燥機オーブン

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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