環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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