環境試験機・乾燥機オーブン

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  3. ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…

  4. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  5. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  6. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  7. 多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…

  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置 日立製 E-1030

  9. ヒーター式インキュベーター PHC MIR-H163-PJ

  10. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…

  4. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  7. VOCセンサー 理研計器 VOC-121H

  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  9. ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100

  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

2026年6月
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