環境試験機・乾燥機オーブン

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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