環境試験機・乾燥機オーブン

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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