環境試験機・乾燥機オーブン

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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