環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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